Enduction centrifuge

Schéma simplifié du procédé d'enduction centrifuge
Laurell Technologies WS-400 spinner servant à appliquer une couche de résine photosensible à un wafer de silicium

L'enduction centrifuge ou enduction par centrifugation ou dépôt à la tournette[1] (plus connue sous son nom anglais de spin coating) est une technique de formation d'une couche mince et uniforme, par dépôt d’une solution de la substance du film, sur la surface plane d'un substrat qui tourne à vitesse élevée. L'enduction centrifuge est utilisée principalement en microélectronique. La machine utilisée pour cette opération est appelée spin coater ou spinner en anglais.


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